INFICON UL1000 Helium leak detector - Manuale (Pagina 5)

Indice
5
U
L
10
00
Fab
i
in
a7
0i
IV
Z.fm
Ma
nu
al
e t
e
c
n
ic
o
(1
10
8)
7 Calibrazione 88
7.1 Introduzione 88
7.2 Calibrazione di routine 88
7.2.1 Calibrazione interna 89
7.2.1.1 Calibrazione automatica interna 89
7.2.1.2 Calibrazione manuale interna 89
7.2.2 Calibrazione esterna 89
7.3 Ambito valori fattore Calibrazione 93
8 Messaggi d'errore e avvertenze 94
8.1 Note 94
8.2 Elenco dei messaggi d'errore e delle avvertenze 95
9 Lavori di manutenzione 100
9.1 Avvertenze generali 100
9.2 Manutenzione o riparazioni da parte di INFICON 101
9.3 Legenda dello schema di manutenzione 101
9.4 Programma di manutenzione 102
9.5 Gruppi di manutenzione 103
9.5.1 Manutenzione 1500 ore 103
9.5.2 Manutenzione 4000 ore 104
9.5.3 Manutenzione 8000 ore 105
9.5.4 Manutenzione 16000 ore 106
9.5.5 Indicazioni sulla manutenzione di TMH 071 106
9.6 Descrizione della manutenzione 107
9.6.1 Apertura del dispositivo per manutenzione 107
9.7 Controllo e sostituzione dell'inserto del filtro dell'aria 108
9.8 Sostituzione del silenziatore scappamento 110
9.9 Controllare/svuotare filtro scappamento 111
9.9.1 Sostituire inserto filtro 111
9.10 Controllare livello dell'olio D16 B, rabboccare 113
9.11 Cambio olio D16 B 115
9.12 Pompa turbomolecolare TMH 071 116
9.13 Pompe scroll (solo UL1000 Fab) 116
Appendice 117
A Diagramma TPR256 117
B Dichiarazione di conformità 118