INFICON UL1000 Helium leak detector - Manuale (Pagina 36)

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Descrizione e funzionamento
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Il seguente diagramma del vuoto mostra i componenti più importanti all'interno del
UL1000 e UL1000 Fab:
Quando la pressione nel provino è inferiore alla pressione ambiente, in caso di
perdita, nel provino potrebbe penetrare l'elio con il quale viene spruzzato. Se le
condizioni di pressione lo consentono, una delle valvole si apre in direzione del TMP.
L'elio può penetrare nello spettrometro di massa in direzione contraria al TMP (quindi
con flusso contrario).
vedere cap. 4.3 per ulteriori dettagli.
Fig. 4-1: Diagramma vuoto UL1000 e UL1000 Fab
Pos. Descrizione
1 MS: spettrometro di massa, sensore elio (spettrometro di massa per campo
settore magnetico 180°)
2 Pompa turbomolecolare (TMP, serve per generare il vuoto necessario al MS)
3 V1a … V8: elettrovalvole per il comando del flusso del gas
4 Pompa scroll (serve per creare la pressione del pre-vuoto per la TMP e
spompa i provini).
5 Flangia di ingresso