Programma di manutenzione, 4 programma di manutenzione – INFICON UL1000 Helium leak detector Manuale d'uso

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Lavori di manutenzione

iina

70

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m

Ma

nu

al

e t

e

c

n

ic

o

(1

10

8)

9.4

Programma di manutenzione

Gruppo costruttivo

Lavori di manutenzione

Ore/anni di esercizio

Livello di

manuten-

zione

Parti di

UL1000/UL1000 Fab

1500

4000

8000

16000

ricambio n.

1/4

1

2

Sistema di vuoto

Prepompa D16 B

Controllare il livello dell'olio, eventualmente
sostituirlo

X

I e II

Sostituire olio

2

X

II

20028181

Rettifica prepompa

X

III

Pomp scroll IWATA

Sostituire testa scroll

X

III

200000021R

ISP 500

Pompa scroll Varian

Sostituire tip-seal

X

1

III

200001671

TS 620

Sostituire testa scroll

X

III

200001665R

TMH 071

Sostituzione del serbatoio del mezzo di
esercizio

X

2

II e III

200000577

Sostituzione cuscinetto

X

2

III

Blocco valvola

Pulire le valvole, sostituire le guarnizioni
delle valvole

2

X

III

200000594

Smontare il blocco valvola e pulirlo

2

X

III

200000593

Rinnovare filtro linea flusso gas di
risciacquo

1

X

1

I, II ,III

200000683

Compensare Pirani

X

III

Silenziatore UL1000
Fab

sostituire

X

1

I, II ,III

20099183

Filtro scappamento
UL 1000

controllare, svuotare

X

I, II ,III

Sostituire inserto filtro

X

1

I, II ,III

200000694

Parte elettrica

Gruppi aeratore

Soffiare il fondo, le pareti dello chassis
dell'aeratore

1

X

1

I

Sostituire cella filtro ricambio parete
chassis aeratore

1

X

1

I

200000685

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