INFICON UL1000 Helium leak detector - Manuale (Pagina 116)

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Lavori di manutenzione
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9.12 Pompa turbomolecolare TMH 071
La pompa turbomolecolare deve essere sottoposta a manutenzione ogni anno o ogni
4000 ore. Per altri dettagli vedere istruzioni PFEIFFER PM 800 504 BN/F e PT 0017
BN/B. Consigliamo di far eseguire i lavori di manutenzione dall'assistenza di
INFICON o da un servizio assistenza autorizzato da INFICON.
9.13 Pompe scroll (solo UL1000 Fab)
Gli intervalli di manutenzione delle diverse pompe scroll (IWATA, VARIAN) possono
essere desunte dal programma di manutenzione in
9.4 .
La manutenzione delle pompe scroll deve essere eseguita esclusivamente
dall'assistenza di INFICON o da un centro di assistenza autorizzato da INFICON.